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超高真空气动插板阀应用案例
2020-10-02 15:42:36 来源:SH超高真空气动插板阀应用案例直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到*小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁,因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界*小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成,确保了阀门的*大完整性。 在保养方面,支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选,标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。超高真空气动插板阀为新研制的超薄阀门,是以压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,气缸活塞杆推(拉)动阀芯组件做直线运动,从而控制阀门的开启或关闭。该系列插板阀适用于工作介质为空气及非腐蚀性气体的场合,配有磁性感应开关,有指示灯显示开闭位置。
序号
品 名
型 号 及 规 格
单位
数量
1
插板阀
气动水冷高真空插板阀CCQ-F200 DN200
详细尺寸见附件
台
5
CCQ- A 型超高真空气动插板阀型号有:CCQ-50A、CCQ-63A、CCQ-80A 、 CCQ-100A 、 CCQ-150A 、 CCQ-200A 、 CCQ-250A 、CCQ-320A、CCQ-400A。沈阳达伦特真空科技有限公司从一成立就紧密跟踪世界科技发展方向,不断研究开发新技术。起初,受杂志中介绍的一篇关于德国真空锅炉发展情况的文章启发,沈阳达伦特真空科技有限公司大胆而艰难地开始了真空锅炉的研制和开发,完成了具有“达伦特特色”的真空炉的设计生产,实现了初期技术创新。接着又先后研制出专用真空压力控制装置,开发出模块式燃煤型大吨位真空锅炉产品,了4种锅炉和加热炉专用炉型,成功地解决了煤燃烧惯性和真空的形成及维持等问题,克服了德国及日本技术的一些弊端,确保真空锅炉没有爆炸危险;解决了真空锅炉生产高温水和蒸汽的可能性;采用炉内旋转燃烧等多项专有热工技术,减少污染,使原始排尘浓度降到国家标准规定值的20%%以下;解决了真空锅炉和真空加热炉的低温腐蚀的理论和技术问题。还大胆提出并验证了锅壳式真空锅炉和真空加热炉可采用平直炉胆的理论,解决了水管式真空锅炉和真空加热炉采用鳍片管的理论和技术问题;采用相似模化理论,一个传热研究试验台,并已独立设计和完成了几项实验,取得了理想的实验结果。
CCQ-A型气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,驱动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。超高真空气动插板阀应用案例技术参数
阀门材质:
阀门主体
304不锈钢
焊接波纹管轴封
AM-350
驱动轴和驱动销
硬质不绣钢
密封件
氟橡胶
真空:
压力范围
1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差压关闭
1 bar (任意位置)
开启前*大压力
≤ 30 mbar
烘烤温度(不含电磁阀):
佛橡胶密封
150 °c
驱动方式
手动 60 °c;气动 60 °c
使用寿命:1,000,000启闭次数
公称通径:DN16-320 mm
主要性能指标:
适用范围:1×10-7Pa~1.2×105Pa
打开时插板上的压差:≤3×103Pa任意方向
阀体和阀座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1
建议首次维修前循环次数:10,000次
阀体烘烤温度:打开时≤200℃;关闭时≤150℃
安装位置:任意
阀门位置指示
手动驱动:带有启闭位置指示(机械式)
由于不断坚持技术创新,多年来沈阳达伦特真空科技有限公司一直引领着相变锅炉和相变加热炉技术研发方向。沈阳达伦特真空科技有限公司取胜的砝码是人才。沈阳达伦特真空科技有限公司深知创新是企业发展的不竭动力,所以始终把技术创新工作放在十分重要的位置。为了稳定科技队伍,公司制定了优惠政策,逐年提高科技人员待遇,采取灵活多样的措施加强在职培训,建立健全创新机制,使公司的科技成果逐年增多,水平也在不断提高。目前沈阳达伦特真空科技有限公司技术人员已经形成了从工作成果中提炼中衍生下游产品的创新思维。沈阳达伦特真空科技有限公司已经成为真空炉技术的新*者。
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