气体减压阀在半导体电子应用

主要由阀体、阀盖、弹簧、活塞、阀座等组成，采用阀后压力直接传递作用于活塞上，下方压力保持佳平衡状态，动作灵敏快捷。活塞式减压阀适用于介质温度0~90℃的水、空气和非腐蚀性液体管路上，可取代常规分区水管，简化和节省系统设备，降低工程造价。我们都知道气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置，它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。那么气体减压阀的安装和维护有哪些注意事项呢？在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中，气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配，那么这些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多业主和用户并没有一个清晰的概念，只有了解了规范化的要求，才能在厂房、实验室的建设中合理规划布局、安全使用。

气体减压阀在半导体电子应用特气管道系统

1、GC、GR可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。

2、GC、GR 应设置作业用气体面板。

3、系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实。

4、气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/H 。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm，并有放腐蚀涂层。

6、GC门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗，地脚螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。

气体减压阀在半导体电子应用

1、为了操作和维护方便，该阀一般直立安装在水平管道上。

2、安装时应注意使管路中介质的流向与阀休上所示箭头的方向一致。

3、为了防止阀后压力超压，应在离阀出口不少于4M处安装一个减压阀。

气体减压阀在半导体电子应用调压方法：

注：减压阀在管道上只作减压作用，不作截止阀用，使用介质必须经过过滤器过滤（阀前必须安装有过滤器）

气体减压阀在半导体电子应用

1、关闭减压阀前的截止阀，开启减压阀后的截止阀，制造下游低压环境。

2、卸下减压阀上端的防护罩把调节螺钉按逆时针旋转至上位置（相对低出口压力），然后关闭减压阀后端的截止阀。

3、慢慢开启减压阀前的截止阀至全开。

4、顺时针缓慢旋转调节螺钉，将出口压力调至所需要的压力（以出口端压力表为准），调整好后，将锁紧螺母背紧，拧上防护罩，打开减压阀后端截止阀。

5、如调压过头，须从步开始重调，即只能从低压往高压调。