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钢瓶氙气减压器在电子芯片应用
2023-07-20 13:35:56 来源:SH钢瓶氙气减压器在电子芯片应用
气体钢瓶减压阀,the gas cylinder pressure reducing valve,就是将气体钢瓶中的高压气体减为实验及工况所需的低压气体压力的减压阀。采用活塞式减压结构,输出压力稳定,主要用于石油化工、化纤、照明电器、热处理、冶金、玻璃、食品、医药、电子、国防航天、航空等主导领域的氮气钢瓶,氧气钢瓶,氦气钢瓶,氢气钢瓶,氩气钢瓶,乙炔钢瓶的出口减压。
各种气体一般都是贮存在专用的高压气体钢瓶中,使用时通过减压阀使气体压力降至实验所需范围,再经过其它控制阀门细调,使气体输入使用系统。由于气瓶内压力较高,而气焊和气割和使用点所需的压力却较小,所以需要用减压器来把储存在气瓶内的较高压力的气体降为低压气体,并应保证所需的工作压力自始至终保持稳定状态。气体钢瓶减压阀是将高压气体降为低压气体、并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置。
钢瓶氙气减压器在电子芯片应用电子芯片制造业
氙气的*新用途是用在电子芯片制造业,也是目前氙需求增长及对氙投机买卖的*重要原因,几家大型芯片制造商正使用氙气等离子蚀刻,主要用于微电子机械系统( MEMS )的制造。MEMS 设备可将微电子和微机械集成为一个整体,能在一块芯片上制作更复杂及功效更强的电路。这种技术从根本上把电脑芯片(处理数据)和传感器(收集数据)结合到一个元件上,可以批量生产,这种芯片的潜在用途不可,氙气蚀刻工艺就由一些半导体制造商用于生产这种超级芯片。序号 品 名 型 号 及 规 格 单位 数量 1 减压器 氙气减压器
进口接口cga580,出口接口qf21a
进口压力 0-25 MPA,出口压力 0.1MPA
进气压力表是25MPA, 低压表是0.4MPA
要求低压高压能封住,
避免原料的浪费。
介质:氙气 氪气台 1
二、钢瓶氙气减压器在电子芯片应用产品参数特征:1、材质:
部位名称
材质
母体
316l,brass
上盖
316l,brass
膜片
316l
过滤网
316l(10μm)
阀座
pctfe,ptfe,vespel
弹簧
316l
阀芯顶杆
316l
2、钢瓶氙气减压器在电子芯片应用适用范围:半导体制程,实验室,气相分析,测试仪表,石油化学工业,电厂设备氙气常见于灯泡的填充中,但其实也是工业生产中经常需要的气体原料,对于氙气*能买到,氙气价格*,一家的气体供应商,能提供不同规格的氙气产品,有需求可咨询。
氙气产品参数
产品名称:氙气(Xe) 高纯氙气
产品等级:分析纯
产品纯度:99.999%
包装规格:4L/8L/40L/50L
中文名称:氙;氙气;液氙
英文名称:Xenon;xenon,refrigerated liquid(cryogenic liquid)
化学符号:Xe
分子量:131.3
密度:5.89Kg/立方米(标准状况下)3、钢瓶氙气减压器在电子芯片应用压力特性参数:
大输入压力
15mpa,20mpa,25mpa
6000psi,3000psi,500psi
输出压力
0-0.1mpa,0-1mpa,0-5mpa,0-10mpa,0-15mpa
0~25,0~100,0~300,0-3000psi
德国规格
g1/4,g1/2,g5/8,g1
出口规格
g1/4,g1/2,g5/8,g1,卡套
测试压力:
1.5倍的大输入压力
适用温度
-40°f 至+165°f(-40℃至+74℃)
三、钢瓶氙气减压器在电子芯片应用安装说明1、用下扳将减压器进出气接头螺纹与气瓶阀螺纹或高低压侧管路可靠的连接,一防止气体泄漏。请勿转动减压器本体,应夹持本体,转动螺母拧紧。
2、在安装过程中,应确保减压器进、出气接头与减压器连接处不会发生松动,否则将会导致气体泄漏,造成安全重大隐患。
3、清除气瓶和管路系统与减压器连接位置处的油污、水及灰尘,一旦杂质进入气体减压器内,将会导致污染气体,阻塞气体通道或产生其他麻烦。
4、如果管路上的螺纹变形,无法与气体减压器顺利地装上时,就不要强行连接,否则会导致管路系统及气体减压器上的螺纹损坏,从而引起严重事故。
四、钢瓶氙气减压器在电子芯片应用操作说明
1、在气体进入减压器之前,须确认已对管路系统(含减压器)按要求进行吹扫或进行抽真空处理。
2、在气体进入减压器之前,须确认减压器调压把手处于旋松状态(逆时针旋松调压把手),否则供气初期的瞬时压力有可能损坏膜片,从而导致减压器失效,严重时会危及人身安全。
3、缓慢打开减压器入口侧的供气阀门,用肥皂水火专用检测仪对减压器各连接处进行检漏。
▲ 注意:打开供气阀门时,人体不得正对或背对减压器。
4、顺时针旋转减压器调压把手,将压力(或流量)调到所需要的刻度指示位置,并用肥皂水或专用检测仪对减压器各连接处进行检漏。
▲ 注意:在减压器供气过程中,如果发现有任何异常的机械振动、噪音、卡住或压力异常升高的现象,表明减压器已存在故障,应立即停止使用。
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