超纯水氮封阀动作原理

超纯水氮封阀动作原理

无需外加能源，利用被调介质自身能量为动力源，引入压力阀的指挥器以控制压力阀的阀芯位置，改变流经阀门的介质流量，使阀门后端压力（B型）或前端压力（K型）保持恒定。ZZYVP主要用在阀前压力较高(0.2-0.8Mpa)而阀后力很低(0.5-100Kpa),例如50mmH20(水柱)的场合，ZZYP-16KII只用在泄氮装置上,并且与供氮装置配套使用。单独使用时请用ZZVP阀代替。

超纯水氮封阀动作原理什么是超纯水呢?

　　简单的说就是，纯到连鱼都活不了的那么纯。把自来水变成超纯水，会损失30-40%左右的水，水的电阻率会达到18.2 MO.cm。然后超纯水会在芯片生产的各个生产线上给芯片“洗澡”。

　　超纯水是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率可达18.2MΩ*cm。

1.超纯水氮封阀动作原理气体减压
如阀前0.2-0.8MPa(高于0.8Mpa时阀前面应加减压阀)，阀后0.5-100Kpa。芯片的制造条件十分苛刻，芯片制造有上千道工序，即使保证每道工序的良品率是99%，那么在上千道工序的累计下，芯片的总良品率一定会惨不忍睹。所以，在芯片制造的过程中，有30%的时间都在做一件事情，就是“洗澡”，名词叫湿法清洗。

　　当然，给芯片清洗的水不能是自来水，因为自来水里的金属离子会影响硅片的阈值电压，溶解气体会干扰硅片的氧化覆膜，细菌有机物会导致硅片短路漏电。因此，需要用超纯水对芯片进行清洗。  氮封阀氮气保护系统装置由供氮阀、 泄氮阀、 呼吸阀三个阀门组成，供氮阀由指挥器和主阀两部分组成；泄氮阀由内反馈的压开型微压调节阀组成，氮气压力一般设为100mmH2O，通过氮封装置精确控制。

2.超纯水氮封阀动作原理氮封装装置
供氮和泄氮装置上  当储罐进液阀开启，向罐内添加物料时，液面上升，气相部分容积减小，压力升高，当罐内压力升于ZZVP-16K泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开，向外界释放氮气，使罐内压力下降，降至泄氮阀压力设定点时，自动关闭。
  当储罐出液阀开启，用户放料时，液面下降，气相部分容积增大，罐内压力降低，ZZYVP-16B供氮阀开启，向储罐内注入氮气，使罐内压力上升，升至供氮阀压力设定点，自动关闭。□应用举例：
1.代替ZZV型微压阀
ZZV型微压阀阀前一般要求介质压力≤0.1MPa,而ZZYVP 型带指挥器操作式自力式压力调节阀则不受此限制。

2. 超纯水氮封阀动作原理用于氮封装置
氮封装置的贮罐内成品油上端覆盖氮气，其压力一般在100mmH2O左右，通过氮封保护装置加以控制。出液阀开启放油时，贮罐内液位下降，此时，ZZYVP-16K供氮调节阀开度增大，向贮罐内补充氮气使压力增加到设定值为止。进液阀开启进油时，液位上升，气相部分容积减小，氮气压力上升，此时ZZYVP供氮调节阀关闭，而ZZYVP泄氮调节阀在压力控制器作用下开启，排出氮气使压力降至设定值。为确保储罐安全，应在罐顶设置呼吸阀。
供氮压力调整：在ZZYP-16BII型压力调节阀选定一设定值如1KPa（100mm.W.C），通过调整主弹簧1的预压缩（拉伸）量来达到；
泄氮压力调整：在ZZYP-16KII泄放阀中的压力控制器部分，通过调整主弹簧预压缩量达到，一般为避免氮封装置启闭频繁，泄氮设定值应远离供氮压力设定值，如2Kpa（200mm.W.C）。
呼吸阀设定值调整：在上述两设定值调整好后，为避免呼吸阀启闭频繁，呼吸阀设定值应大于泄压设定值。两者设定期亦不能靠得太近。呼吸阀型号为：ZFQ-1
在ZZYP-16BII压力设定值为Pc，ZZYP-16KII压力设定值P1，Pc与P1两值不能靠得太近，以免阀门工作太频繁，呼吸阀的排放压力P2的设定值应大于P1，P2与P1两值也不能靠得太近。三者关系Pc

 超纯水氮封阀动作原理选用需要注意什么？
 1、氮封阀直接按照接管管径选取是不合理的。阀门的调节品质与接管流速或管径没有关系，阀门的调节品质仅与水的阻力及流量有关。一旦系统设备确定之后，理论上适合该系统的阀门只有一种理想的口径，而不会出现多种选择。
 2、调节阀口径不能过小。选择的阀门口径过小，一方面会增加系统的阻力，甚至会出现阀门口径100%开启时，系统仍无法达到设定的容量要求，导致严重后果。另一方面，阀门将需要通过系统提供较大的压差以维持足够的流量，加重泵的负荷，阀门易受损害，对阀门的寿命影响很大。
 3、调节阀口径不能过大。选择的阀门口径过大，不仅增加工程成本，并且会引起阀门经常运行在低百分比范围内。从而会引起调节精度降低，使控制性能变差，且易使系统受冲击和振荡。
 4、为了保证系统控制品质，较为理想的方法是在系统允许的范围内选择能获得较大压力降的阀门口径，使阀门在运转过程中压力降的变化值尽可能小。阀门全开状态下的压力降占全泵压百分比越高，则阀门压力降相对变化值越小，阀门的安装特性就越接近其内在特性。
 5、控制系统中调节阀应尽可能工作于恒定的压力降条件下。因为阀门是否匹配盘管依赖于它的内在特性和流量因子，而这些阀门参数取决于恒定的阀门压力降。