半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明

半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明

 在物理化学实验中，经常要用到氧气、氮气、氢气、氩气等气体。这些气体一般都是贮存在专用的高压气体钢瓶中。使用时通过减压阀使气体压力降至实验所需范围，再经过其它控制阀门细调，使气体输入使用系统。

    1.半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明的工作原理

减压阀为氧气减压阀，简称氧气表。
    氧气减压阀的外观及工作原理见图ⅱ-2-7和图ii-2-8。
    氧气减压阀的高压腔与钢瓶连接，低压腔为气体出口，并通往使用系统。高压表的示值为钢瓶内贮存气体的压力。低压表的出口压力可由调节螺杆控制。
    使用时先打开钢瓶总开关，然后顺时针转动低压表压力调节螺杆，使其压缩主弹簧并传动薄膜、弹簧垫块和顶杆而将活门打开。这样进口的高压气体由高压室经节流减压后进入低压室，并经出口通往工作系统。转动调节螺杆，改变活门开启的高度，从而调节高压气体的通过量并达到所需的压力值。
    减压阀都装有安全阀。它是保护减压阀并使之安全使用的装置，也是减压阀出现故障的信号装置。如果由于活门垫、活门损坏或由于其它原因，导致出口压力自行上升并超过一定许可值时，安全阀会自动打开排气。

    2.半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明的使用方法
    (1)按使用要求的不同，氧气减压阀有许多规格。*高进口压力大多为15mpa ，进口压力不小于出口压力的2.5倍。出口压力规格较多，一般为0.25 mpa *高出口压力为4 mpa

(2)安装减压阀时应确定其连接规格是否与钢瓶和使用系统的接头相一致。减压阀与钢瓶采用半球面连接，靠旋紧螺母使二者吻合。因此，在使用时应保持两个半球面的光洁，以确保良好的气密效果。安装前可用高压气体吹除灰尘。必要时也可用聚四氟乙烯等材料作垫圈。
    (3)氧气减压阀应严禁接触油脂，以免发生火警事故。
    (4)停止工作时，应将减压阀中余气放净，然后拧松调节螺杆以免弹性元件长久受压变形。
    (5)减压阀应避免撞击振动，不可与腐蚀性物质相接触。

    3.半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明其它气体减压阀
    有些气体，例如氮气、空气、氩气等性气体，可以采用氧气减压阀。但还有一些气体，如氨等腐蚀性气体，则需要专用减压阀。市面上常见的有氮气、空气、氢气、氨、乙炔、丙烷、水蒸气等专用减压阀。　由于气瓶内压力较高，而气焊和气割和使用点所需的压力却较小，所以需要用减压器来把储存在气瓶内的较高压力的气体降为低压气体，并应保证所需的工作压力自始至终保持稳定状态。总之，减压器是将高压气体降为低压气体、并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置。
　  高压减压器按用途集中式和岗位式两类；按构造不同可分为单级式和双级式两类；按工作原理不同可分为正作用式和反作用式两类。目前，常见的国产减压器以单级反作用式和双级混合式（*级为正作用式、第二级为反作用式）两类为主。

  B,半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明的构造和工作原理
　　1.高压减压器的本体是由黄铜制成。两级减压系‘的构造基本相似，均由活门顶杆、调压弹簧、弹性薄膜装置、减压门等零部件组成。*级减压系统主要用于将高压气体自动降为高压气体，降至压力为实际使用压力，然后送入第二级减压系统。在二级减压系统，当旋拧调压螺钉时，通过调压弹簧、弹性薄膜装及活门顶杆，使减压活门作不同程度的开启和关闭，以用来调节*减压系统送入的氧气的减压程度或停止供气。
　　2.高压减压器进气接头处螺纹尺寸为315. 875mm，接头的内径尺寸为5. 5mm,出气接头内径尺寸为6mm,其zui大流量为80m3 /h。减压器本体上还装有高压氧气表和低压氧气表，分别指示高压气室（即氧气瓶内）和低压气室内的压力（即工作压力）。高压氧气表的量程为0-25MPa。低压氧气表的量程为0- 4MPa.
　　使用高压减压器时，当顺时针旋拧调节螺钉时，可顶开减压活门，高压氧气便从缝隙中流入低压室。由于氧气在低压室内体积发生膨胀而使压力降低，即减压作用。

 C,半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明的安全使用
　　（1）气瓶放气或开启减压器时动作必须缓慢。如果阀门开启速度过快，减压器工作部分的气体因受绝热压缩而温度大大提高，这样有可能使有机材料制成的零件如橡胶填料、橡胶薄膜纤维质衬垫着火烧坏，并可使减压器烧坏。另外，由于放气过快产生的静电火花以及减压器有油污等，也会引起着火燃烧烧坏减压器零件。
　　（2）减压器安装前及开启气瓶阀时的注意事项：安装减压器之前，要略打开氧气瓶阀门，吹除污物，以防灰尘和水分带入减压器。在开启气瓶阀时，瓶阀出气口不得对准操作者或他人，以防高压气体突然冲出伤人。减压器出气口与气体橡胶管接头处必须用退过火的铁丝或卡箍拧紧；防止送气后脱开发生危险。
　　（3）减压器装卸及工作时的注意事项：装卸减压器时必须注意防止管接头丝扣滑牙，以免旋装不牢而射出。在工作过程中必须注意观察工作压力表的压力数值。停止工作时应先松开减压器的调压螺钉，再关闭氧气瓶阀，并把减压器内的气体慢慢放尽，这样，可以保护弹簧和减压活门免受损坏。工作结束后，应从气瓶上取下减压器，加以妥善保存。
　　（4）减压器必须定期校修，压力表必须定期检验。这样做是为了确保调压的可靠性和压力表读数的准确性。在使用中如发现减压器有漏气现象、压力表针动作不灵等，应及时维修。
　　（5）减压器冻结的处理。减压器在使用过程中如发现冻结，用热水或蒸汽解冻，绝不能用火焰或红铁烘烤。减压器加热后，必须吹掉其中残留的水分。
　　（6）减压器必须保持清洁。减压器上不得沾染油脂、污物，如有油脂，必须在擦拭干净后才能使用。
　　（7）各种气体的减压器及压力表不得调换使用，如用于氧气的减压器不能用于乙炔、石油气等系统中。
    这些减压阀的使用方法及注意事项与氧气减压阀基本相同。

半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明产品参数特征：

1、材质：

　　









2、适用范围：

半导体制程，实验室，气相分析，测试仪表，石油化学工业，电厂设备

3、压力特性参数：

一.半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明开启

当正确地将减压器安装在气瓶阀上并开气瓶阀后，顺时针转动调节螺杆14，压缩调节弹簧13, 传动弹簧垫块1，传动薄膜2和顶杆12，从而使活门10离开阀座。进口的高压气体由高压室9经活门和阀座的节流间隙进入低压室11扩散减压。高压室的压力分别由高压表5和低压表6指示。

二.半导体制程钢瓶气体减压阀使用说明调节和工作

减压后的压力由左右拧动调节螺杆来调节，主要是改变调节弹簧13所产生的压力，致使薄膜2下面与之平衡的气体压力产生变化来达到所需的工作压力。此时可打开减压器后设备上的阀进行工作。

三．关闭

工作完毕时只要全松调节螺栓，活门10在高压气体作用力和活门弹簧的作用下会关闭密封。

四．安全阀

安全阀3是维护减压器安全使用的卸压装置和减压器出现故障的信号装置。当输出压力由于活门密封垫、阀座损坏或其他原因自行上升到超过*大输出压力的1.15倍至1.5倍时，安全阀会自动打开排气，当压力降低到许用值时则会自动关闭。

五．安全使用

1.  要把气瓶固定在墙壁、支柱或专用推车上，务必不能使气瓶翻倒在地上。

2．使用前应确认减压器是完好并检查有无油脂污染。如有油脂存在应由人员予以清洗。减压器上（特别是进口处）的杂质，污物及灰尘等应清除掉。

3．检查气瓶阀是否有油脂污染，螺纹是否损坏，是否有杂质、污物存在。如发现有油脂存在或螺纹损坏就不应再使用该气瓶并将这些情况通知供气单位。清除气瓶阀（特别是阀口处）的杂质、污物及灰尘等。

4．把减压器装到气瓶上，把全部连接接头扳紧。

5．在打开气瓶阀前先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压为止。

6．打开气瓶阀时不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启压指示出瓶压读数。

7．顺时针方向旋转减压器调节螺杆，使低压表达到所需的工作压力。如果太高的话应旋松调节螺杆，放出一部分气后重新调节。

8．要检查是否漏气，先把气瓶阀关好，然后逆时针方向把调节螺杆旋出一圈。如果高压表读数减小，那么就是减压器高压部分或气瓶阀漏气。如果低压表读数减小，那么就是减压器低压部分或减压器后面的管路和设备漏气。如果高压表读数减小，同时低压表读数上升，哪么说明减压器阀座处漏气。以上漏气均可检漏效果良好并安全的溶液检漏。

10．气瓶不用时要随手把气阀关好。当工作结束后，先要关闭气瓶阀，然后打开焊、割具或设备上的阀把减压器的全部气体排出。接着把刚才打开的阀门关好，*后逆时针方向调节螺杆一直到调节弹簧不受压为止。

11．使用减压器时严格执行国家劳动总局颁发的《气瓶安全监察规程》。

12．发现减压器和配套压力表有损坏或异常现象时应立即进行修理。

13．减压器的修理必须由人员进行。

14．修理时要更换的另部件应是本厂的同型号的另部件，否则有可能发出问题或达不到产品的性能要求。

15．减压器长期受压，应定期送专门检修部门检修，一般一年检修一次。

但是，还应该指出：专用减压阀一般不用于其它气体。为了防止误用，有些专用减压阀与钢瓶之间采用特殊连接口。例如氢气和丙烷均采用左牙螺纹，也称反向螺纹，安装时应特别注意。