CGA580特种氪气减压器应用案例

CGA580特种氪气减压器应用案例

特气减压阀，也叫特气减压器，Special gas reducing valve，就是将特气钢瓶中的高压气体减为实验及工况所需的低压气体压力的减压阀。采用活塞式减压结构，输出压力稳定，主要用于石油化工、化纤、照明电器、热处理、冶金、玻璃、食品、医药、电子、国防航天、航空等主导领域的特气钢瓶的出口减压。特种气体，气体工业名词，是指那些在特定L域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，采矿，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等L域。特种气体用途及应用行业介绍如下。 特种气体有哪些？ 

气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。 特种气体其中主要有：甲烷、乙烯、正戊烷、正丁烯、正丁烷、异戊烷、异丁烯、异丁烷、乙烷、一氧化碳、一氧化氮、一甲胺、一氟甲等。单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。来自格林斯达环保集团

氖气约占全球70%，在半导体制程当中，氖气可用于KrF镭射以曝光；除了氖气，乌克兰也供应全球约40%氪气，氪气同样用于KrF镭射，两者皆与曝光制程密切相关。此外，乌克兰亦生产氙气，供应量约占全球30%，用于半导体蚀刻制程。

由在氖气、氪气、氙气市场供应量巨大，，电子特气限制出口。很可能导致氖气、氪气、氙气供应的短缺，即便市场迅速寻求新气体供应商或扩大气体产能，也需要数月甚至半年以上产品认证时间，使半导体制程的电子特气供应陷入紧缺。特气一般都是贮存在专用的高压气体钢瓶中，使用时通过减压阀使气体压力降至实验所需范围，再经过其它控制阀门细调，使气体输入使用系统。由于特气气瓶内压力较高，而气焊和气割和使用点所需的压力却较小，所以需要用减压器来把特气储存在气瓶内的较高压力的气体降为低压气体，并应保证特气所需的工作压力自始至终保持稳定状态。进口特气减压器是将高压特气降为低压气体、并保持输出特气的压力和流量稳定不变的调节装置。

CGA580特种氪气减压器应用案例

二、CGA580特种氪气减压器应用案例产品参数特征：

1、材质：

　　









2、适用范围：

半导体制程，实验室，气相分析，测试仪表，石油化学工业，电厂设备

3、压力特性参数：

三、CGA580特种氪气减压器应用案例安装说明

1、用下扳将减压器进出气接头螺纹与气瓶阀螺纹或高低压侧管路可靠的连接，一防止气体泄漏。请勿转动减压器本体，应夹持本体，转动螺母拧紧。

2、在安装过程中，应确保减压器进、出气接头与减压器连接处不会发生松动，否则将会导致气体泄漏，造成安全重大隐患。

3、清除气瓶和管路系统与减压器连接位置处的油污、水及灰尘，一旦杂质进入气体减压器内，将会导致污染气体，阻塞气体通道或产生其他麻烦。

4、如果管路上的螺纹变形，无法与气体减压器顺利地装上时，就不要强行连接，否则会导致管路系统及气体减压器上的螺纹损坏，从而引起严重事故。

四、CGA580特种氪气减压器应用案例操作说明

1、在气体进入减压器之前，须确认已对管路系统（含减压器）按要求进行吹扫或进行抽真空处理。

2、在气体进入减压器之前，须确认减压器调压把手处于旋松状态（逆时针旋松调压把手），否则供气初期的瞬时压力有可能损坏膜片，从而导致减压器失效，严重时会危及人身安全。

3、缓慢打开减压器入口侧的供气阀门，用肥皂水火专用检测仪对减压器各连接处进行检漏。

  ▲ 注意：打开供气阀门时，人体不得正对或背对减压器。

4、顺时针旋转减压器调压把手，将压力（或流量）调到所需要的刻度指示位置，并用肥皂水或专用检测仪对减压器各连接处进行检漏。

▲ 注意：在减压器供气过程中，如果发现有任何异常的机械振动、噪音、卡住或压力异常升高的现象，表明减压器已存在故障，应立即停止使用。