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半导体实验室CGA350气体减压器应用案例
2024-09-21 14:00:16 来源:SH半导体实验室CGA350气体减压器应用案例
在半导体、光伏、实验室、科研等领域中,特气系统是的,而特气系统又是由各种气体装置构成。通常所使用的气瓶气罐容器所贮存的气体压力高达15MPa左右,这种高压气体分道充填于管路系统中,远远超出了使用压力范围,这时候,我们 就需要减压器。减压器能使输入的高压气体减弱到实际应用的压力范围,以便制程正常应用。
01 半导体实验室CGA350气体减压器应用案例 气体的介质和纯净度
关于气体纯度,通常情况下,如果气体是5个9,我们会推荐使用不锈钢材质。如果大于5个9,我们会推荐使用EP级不锈钢材质。这都是在考虑到气体介质和材料的兼容性基础上进行选择。我们经常碰到,很多用户对减压器的价格抱有疑惑,今天我们列举了众多用户关心的。
大流量不锈钢减压器,采用活塞式减压结构,输出压力稳定,主要应用于输出压力高,使用流量又的场合,*大输入压力可达 6000PSi,*高输出压力可达4000Psi。由于钢瓶内的压力较高,而现场气焊和切割所需的压力较低,因此需要使用减压器将钢瓶内储存的高压气体减少为低压气体,并确保所需的工作压力从始至终保持稳定。总之,减压器是一种将高压气体减压为低压气体并保持输出气体压力和流量稳定的控制装置。半导体实验室CGA350气体减压器应用案例 减压器的一些分类:
1.介质:氧气减压器、乙炔减压器、氮气减压器、空气减压器、氩气减压器、氢气减压器、氦减压器、二氧化碳减压器、丙烷减压器、天然气减压器和具有腐蚀性的不锈钢减压器,
2、功能:也可分为集中型和项目型;根据结构的不同,可分为单级和两级两种类型。
3.工作原理:分为两种类型:正作用型和反作用型。目前,国内常用的压力调节器有单级反应型和两级混合型(级为正作用式、第二级为反作用式)。
半导体实验室CGA350气体减压器应用案例
序号
品 名
型 号 及 规 格
单位
数量
单 价
(元)
金 额
(元)
阀体材质及其它
1
减压器
气体减压器
进口接口cga642,出口接口cga330
进口压力 0-10 MPA,出口压力 0.4MPA
进气压力表是16MPA, 低压表是2.5MPA
气体:四氟化锗,四氟化硅,六氟化钼等氟化合物
台
2
316L不锈钢阀体
膜片哈式合金
半导体实验室CGA350气体减压器应用案例结构特点 Features
活塞式减压结构
*大输入压力:6000PSi
*大输出压力:4000PSi
母体螺纹:3/4” NPT(F)
安全压力:1.5 倍的*大输入压力
适用温度:-40°C 至74°C (-40°F 至165°F)
内泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值:2.0
重量:4.8 kg
有面板和底板两种安装方式
半导体实验室CGA350气体减压器应用案例材质 Materials
母体:316L
阀座:PCTFE,Vespel
活塞:316L
适用范围 Typical Applications
气体分析测试
实验室
石油化学工业
电厂设备1. 半导体实验室CGA350气体减压器应用案例为什么价格相差巨大?
举个常见的情况来说,同样是接在钢瓶上用的氮气减压器,同样的功能,不同的厂商的售价从几十元到上千元的都有,这个价格相差之大,着实让行外人惊讶,在购买,询价时这其中的价差的”秘密“你或许会知道一点,但是可能只是冰山一角,下面我们来探究一下这座冰山的全貌。
(1) 材质原因:
气体减压器主要分为黄铜材质和不锈钢材质两种,不锈钢系列价格远高于黄铜,很多人会奇怪铜材明明贵于不锈钢为什么价格反而便宜,这其中主要是因为不锈钢减压器的加工成本远远高于铜材质减压器的加工成本。
温馨提示:不锈钢系列因为加工工艺和材质原因可以使用于一些腐蚀性气体场合、洁净要求高的场合以及一些色谱、质谱、液相、原子吸收等仪器设备搭配使用,为客户能够提供更稳定和更洁净的使用要求。
(2)品牌加成
减压器厂商品牌有高低之分,运营成本以及整体品质把控成本增加体现在了产品单价上。
(3)服务原因
优质的公司无论何时何地都提供咨询、选型和技术支持,这些服务或多或少一部分体现在了公司整体素质和产品价格上。
2. 半导体实验室CGA350气体减压器应用案例关于减压器实际耐压范围和安全问题
无论是铜材质减压器还是不锈钢减压器,它们的母体材料都是由棒料车出来,接头也是,因此耐压都能力非常的好,我们国内常用钢瓶压力以氮气、氧气瓶为例,瓶内压力一般为12-15mpa左右,承受这个压力是没有问题的,而不锈钢*高可承受40mpa(6000psig)的压力,而在结构设计上采用不锈钢金属膜片密封结构,上下盖阀体采用防老化硬密封形式,采用特殊螺纹锁住,深锥度螺纹进一步确保安全,阀体上盖部分的细孔可以间接告诉使用者阀芯是否漏气,间接提醒使用者注意使用情况,从设计上再一次加强了使用安全。
3. 半导体实验室CGA350气体减压器应用案例关于减压器使用年限和更换问题
在规范使用无人为破坏的情况下,铜材质的减压阀一般为一年左右(阀内有橡胶材质配件,会老化同时受温度温差影响)。
排除人为损坏和气体杂质堆积影响下,不锈钢材质的减压器一般长达两年以上,而装在减压器上的压力表一般根据CMC计量标准和计量局检验建议有效期为一年,但是并不意味着压力表到了一年时间就要更换,可依据使用方实际情况而定。
了解了以上内容,你认为你已经足够了解减压阀了,可以为你的特气系统选择到合适的减压器吗?
不,远远不够。选择合适的减压器,我们还需要以下几个数据:
气体的介质和纯净度
关于气体纯度,通常情况下,如果气体是5个9,我们会推荐使用不锈钢材质。如果大于5个9,我们会推荐使用EP级不锈钢材质。这都是在考虑到气体介质和材料的兼容性基础上进行选择。
制程需要的流量
要知道自己需要的流量,因为减压器的流量,和压力是有直接关系的!所以要知道减压器的CV值。很多时候,客户后面设备一开,输出压力表会下来很多,甚至直接下降到0位,这就是明显的减压器流量选小了。
还有刚开始使用流量是够的,后来不够了,那是因为进气压力下降了,流量变小了。减压器后的管道排空或者带压,流量都是不一样的。所以计算流量的时候,要考虑到这些因素,要考虑条件下的流量。另外,不同气体,分子密度不同,计算流量的参数也不一样。
关于接口
通常情况下,接口的流量通过能力,要大于阀芯的通过能力。所以,转接口,或者扩展接口,都要考虑到流量问题,还有压力问题。接口也有多种规格,多个尺寸,有螺纹,卡套,焊接,VCR,法兰等,这些都需要考虑到,确认清楚。
还要考虑到拆卸方便;安装方便,焊接的还要考虑耐温,接头承压能力的情况等等;还有就是要考虑到进出气方向,这点很多人会忽略,考虑不到。
进出压力
减压器读数范围,应该是在压力表满量程的1/3到2/3之间,这时候数值是*合适的,太大了的话,压力表容易疲劳损坏;压力太小了,又不太容易调整和读。压力还分静态压力和动态压力,如果静态压力和动态压力差太多,那就是流量选择有问题,理想情况是动态和静态差别不大。
安装方式
安装方式是非常重要的,这个要十分注意。首先减压器尺寸,安装位置确认清楚,面板安装,底座安装,管道支架安装,箱体安装等等。经常在安装过程中,遇到各种尺寸问题,事先都没考虑到,极容易出现束手无策。精确的安装,可以预先三维图模拟组装一下。
减压器是否带压力表
减压器是否带压力表,带几个压力表,这都和设计方案有关系!通常接钢瓶的,需要带进出气压力表(高压显示钢瓶气体压力,低压显示使用压力),通常,接钢瓶的减压器,出口*好加一个开关阀,这样更方便使用者操作。接管道的,高压部分可以带进出气压力表,末端减压器可以只带出气压力表。集成面板的,减压器可以不带压力表,根据方案来,压力表单独分布,考虑全面即可。,将气体钢瓶中的高压气体减压至实验及工况所需的低压气体压力,再经过二级减压阀及其他控制阀配合,使终端设备获得持续稳定的气体供应。
半导体实验室CGA350气体减压器应用案例减压阀安装顺序
1、安装减压阀时应确定其连接规格是否与钢瓶和使用系统的接头相一致。减压阀与钢瓶采用半球面连接,靠旋紧螺母使二者吻合。因此,在使用时,应保持两个半球面的光洁,以确保良好的气密效果。安装前可用高压气体吹除灰尘。必要时也可用聚四氟乙烯等材料作垫圈。
2、缓慢打开钢瓶瓶阀,切勿瞬间打开瓶阀!开启瓶阀时,瓶阀的出气口不准对着人。同时,操作者必须站在瓶阀的侧面,不能站在正面和后面。缓慢开启后测试钢瓶接头是否产生泄露,顺时针拧动手轮调节丝杆,推动弹簧、膜片,将阀芯打开,高压腔内气体经过节流减压达到客户所需压力。膜片采用Hastelloy C276材质,其阀芯采用一体式设计方便后期维护。
3、减压阀都装有泄压阀。它是保护减压阀并使之安全使用的装置,也是减压阀产生故障的信号装置。假如因为阀芯或其它原因,导致出口压力自行上升并超过一定许可值时,泄压阀会自动打开排气。
4、停止用气时,应将减压阀中余气放净,然后拧松调节螺杆以免弹性元件长久受压变形。
用气人员必须做到遵守国家所有的关于压缩气体和低温液体的储存、使用和处理的法规。如果用气人员对特定气体相关属性及危险不够熟悉,则务必请与供应商联系,以得到补充资料,确保能够安全操作。
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