集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例

集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例

氮封装置由供氮阀、 泄氮阀、 呼吸阀 组成，供氮阀由指挥器和主阀两部分组成；泄氮阀由内反馈的压开型微压调节阀组成，通过氮封装置精确控制。当储罐进液阀开启，向罐内添加物料时，液面上升，气相部分容积减小，压力升高，当罐内压力升于泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开，向外界释放氮气，使罐内压力下降，降至泄氮阀压力设定点时，自动关闭。当储罐出液阀开启，用户放料时，液面下降，气相部分容积增大，罐内压力降低，供氮阀开启，向储罐内注入氮气，使罐内压力上升，升至供氮阀压力设定点，自动关闭。
因为一般的常用储水罐为了维持内部与外部的压力平衡，当罐内水量减少的时候，除非使罐子被不断的压缩，不然罐内就会有空气填入其中，维持外部与内部的平衡，显然在超纯水的生产过程中，使空气进入是非常不理智的行为。常见的大气中富含各种污染物质，这类污染物质虽然对人体的影响并不是很大，但是在高精度仪器面前，它们会时刻影响实验数据，让数据出现不同程度的改变，特别是在电子级实验面前，微生物或者离子的影响都会使实验数据失效，所以采用氮封装置能很好的保证储水桶内的水质稳定。

集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例

氮封装置由供氮装置和泄氮装置两部分组成。供氮装置由指挥器和主阀两部分组成；泄氮装置由内反馈的压开型微压调节阀组成。氮气压力一般设为100mmH2O，通过氮封装置精确控制。当水箱上游水泵开启，向超纯水水箱补水时，水箱水位上升，气相部分容积减小，压力升高，当水箱上部气体空间压力升于泄氮装置压力设定值时，泄氮装置打开，向外界释放氮气，使罐内压力下降，当降至泄氮装置压力设定点时，泄氮装置自动关闭。
根据贵司自来水的水质指标，该原水不宜直接作为贵公司清洗用水。因此必须对该原水进行脱盐处理。本项目推荐选用先进、成熟、出水水质稳定、系统运行稳定的反渗透脱盐装置作为系统的主脱盐设备；系统运行费用低、易于实现自动化。反渗透水处理系统具有很好的经济性。
为保证关键设备反渗透装置的长期可靠稳定运行，则必须设置预处理系统，满足反渗透膜（RO）进水指标：浊度<0.5NTU、SDI<4、余氯<0.1ppm。根据原水水质，预处理系统由多介质过滤器、活性炭过滤器、加药系统及相关辅助设备组成。
当水箱后级水泵开启，用户端开始用水时，液面下降，气相部分容积增大，罐内压力降低，供氮装置开启，向储罐注入氮气，使罐内压力上升，当罐内压力上升至供氮装置自动关闭。

集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例

三、集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例 技术参数

四、集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例结构图

五、集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例 连接尺寸

注：由于产品改进技术创新参数可能有一定变化，公司不另行通知，请咨询公司技术部门索取新数据。

集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例安装注意事项

（1）安装前，检查整机零件是否缺损与松动，对管道应进行清洗，介质流向应与阀体上的箭头指向一致。
（2）为便于现场维护与操作，阀四周应留有适当空间与设置旁路手动阀，阀组安装方案。
（3）阀门应正立垂直安装在水平管道上，阀体与管道的法尘连接，要注意同轴度，并应安装在环境温度不超过-25～55℃的场合使用
以上是如何保持超纯水的水质的方法，希望对您有所帮助。近几年超纯水设备在表面清洗、涂装、电解行业、化工行业和太阳能光伏行业的应用也日趋广泛。创洋公司生产的超纯水设备应用领域广、出水水质稳定、操作简单、维护方便，得到各行业的一致认可。

1.集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例供氮装置工作原理：
供氮装置结构如图所示，将设在罐顶的取压点的介质经导压管引入检测机构(7)、介质在检测元件上产生一个作用力与弹簧(8)、预紧力相平衡。当罐内压力降低至低于供氮装置压力设定点时，平衡被破坏，使指挥器阀芯(6)打开，从而使阀前气体经减压阀(5)、节流阀(4)、进入主阀执行机构(3)上、下膜室，打主开阀阀芯(2)、向罐内充注氮气；当罐内压力升至供氮装置压力设定点时，由于预设弹簧力，关闭指挥器阀芯(6)又由于主阀执行机构中弹簧作用，关闭主阀，停止供氮。
2.集成电路超纯水箱氮封阀装置应用案例泄氮装置工作原理：

泄氮装置结构如右图所示，该装置采用内反馈结构，介质直接经阀盖进入检测机构(2)，介质在检测元件上产生一个作用力与预设弹簧(3)预紧力相平衡。当罐内压力升高于泄氮装置压力设定点时，平衡被破坏，使阀芯(1)上移，打开阀门，向外界泄放氮气；当罐内压力降至泄氮装置压力设定点时，由于预设弹簧力作用，关闭阀门。
氮封装置主要用于保持容器顶部保护气（一般为氮气）的压力恒定，以避免容器内物料与空气直接接触，防止物料挥发，被氧化，以及容器的安全。特别适用于大型储罐的气封保护系统。该产品具有节能环保、动作灵敏、运行可靠、操作简单和维修方便等特点。
纯水储桶*好安装空气过滤器，防止环境因素造成的污染。
储水桶请勿放置在日光直射处，水温上升，容易造成微生物繁殖。特别是半透明储水桶，也会因为日光通透而造成藻类繁殖。
超纯水取水时一定要将初期的出水放掉，以获得稳定的水质。
取水时让超纯水顺着容器侧壁流入，尽量不要让气泡产生，可降低空气污染。
长时间不用纯水时，应将压力储水桶中的RO水全部放掉以防止污染。
公称压力0.1Mpa,压力可按分段设定,从0.5Kpa 至66 Kpa以下,介质温度温度≤ 氮封装置的供(泄)氮压力设定方便,且可在连续生产的条件下进行;氮气压力设定范围广。氮封装置主要用于储罐顶部氮气压力恒定控制，以保护罐内物料不被氮化及储罐安全。氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成。快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成。

    储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下，现场压力较高，必须安装压力调节阀将压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。公称压力0.1Mpa，压力可按分段设定，从0.5Kpa 至66 Kpa以下，介质温度温度氮封装置的供（泄）氮压力设定方便，且可在连续生产的条件下进行；氮气压力设定范围广，低至0.5Kpa