超纯水系统氮封阀三件套应用案例

一、超纯水系统氮封阀三件套应用案例

超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区(CUB部分);超纯水抛光循环区(FAB部分);超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区是非常重要而且也非常复杂的部分，分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;

超纯水部分主要包括：MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备(UF)，以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。

由于目前国内对控制阀行业还没有一个具体.统一的型号及命名。行业内对该自力式调节阀的命名,都是各个企业自己的企业标准。例:(自力式供氮阀.氮封装置.供氮装置.带指挥器自力式压力调节阀)等。带指挥器自力式压力调节阀属于自力式阀门系列，利用介质自身的压力来控制阀门开关，采用先导阀结构设计，以阀后压力为动力源，引入阀后压力到指挥器膜片上以控制指挥器阀芯位置，改变流经指挥器阀芯的介质压力和流量，使阀门后端压力保持精确恒定。

该阀压力设定靠指挥器上的压力弹簧来实现，调节压缩弹簧阀后压力变大，反之则变小，操作简单因而存在方便、便捷、比一般的直接取压自力式压力调节阀精度要高；一般用于储罐氮封系统；调节和稳定储罐的氮气压力，控制精度极其灵敏，控制精度阀后能达到0.0001MPa （100pa)运行过程中压力可以连续调节,特别适合是控制微压场合的工况。

氮封装置由供氮阀、泄氮阀、 呼吸阀 组成，供氮阀由指挥器和主阀两部分组成；泄氮阀由内反馈的压开型微压调节阀组成，氮气压力一般设为100mmH2O，通过氮封装置精确控制。当储罐进液阀开启，向罐内添加物料时，液面上升，气相部分容积减小，压力升高，当罐内压力升于泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开，向外界释放氮气，使罐内压力下降，降至泄氮阀压力设定点时，自动关闭。当储罐出液阀开启，用户放料时，液面下降，气相部分容积增大，罐内压力降低，供氮阀开启，向储罐内注入氮气，使罐内压力上升，升至供氮阀压力设定点，自动关闭。

超纯水系统是现在工业生产上使用非常频繁的设备，由于在工业生产上对超纯水的使用量非常大，一般的小型超纯水机并不能满足的事情，而超纯水系统在这种时候就是用来提供大量生产用水。在电子行业生产制造过程中，由于电子设备对冲洗用水中金属离子的含量要求非常高，基本还需要增加使用EDI电渗析技术才能将水中金属离子去除掉。那么超纯水系统只关注超纯水制造水的部分就行了吗?接下来我将为您介绍超纯水系统的整体流程。

超纯水系统氮封阀三件套应用案例工作原理
氮封系统由氮封阀、呼吸阀（含阻火器）、泄氮阀、紧急泄放装置（泄压阀、泄压人孔）组成。
当储罐进液阀开启，向罐内添加物料时，液面上升，气相空间减小，罐内压力升高，当罐内压力高于泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开,向外界释放氮气，当罐内压力下降到泄氮阀压力设定值时，泄氮阀自动关闭。
当储罐出液阀开启输出物料时，罐内液面下降，气相部分容积增大，罐内气相压力降低，此时氮封阀开启，向储罐注入氮气，当罐内压力上升至氮封阀压力设定值时，氮封阀自动关闭。
当氮封阀和泄氮阀失灵时，此时呼吸阀替代氮封阀和泄氮阀起保护作用。
紧急泄放装置是当发生火灾时向罐外呼出，避免储罐因超压而损坏。

二、超纯水系统氮封阀三件套应用案例超纯水系统

在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGPRL)，对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高，所以须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mp法兰。由于RO对水温有一定要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应采用SUS304管;在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管。超纯水回收管道采用CPVC管。

在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。相比传统氮封系统装置，金子产业利用自己的产品（恒压呼吸阀），将呼吸阀和气封装置集成到一起的一体式产品，同时满足氮封与呼吸的功能，体现出的优势：
1）由于不需要二次配管及控制配管，配管的空间较宽广。
2）只要有呼吸阀储罐上有空即可设置。
3）由于不需要二次配管及控制配管工程，可节省配管成本。
4）在现有的储罐上设置时，不需要增设二次配管及控制配管的连接口。
5）因使用洁净管件，结构上很简单，便于进行拆解、点检。

三、超纯水系统氮封阀三件套应用案例超纯水系统施工

超纯水系统水站部分施工难度*大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装，共用管架的制作安装以及管道的安装。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：

1、架台与土建结构连接处一定要坚固，*好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上；

2、整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。开工初期两部分可以同时进行施工。当共架直管段与设备本体配管完成之后，应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，*终与共架管道相连形成封闭的管路系统。

超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别，它除了要保证管道系统的密闭性外，还有更加重要的一点，就是要在施工过程中一定要保证管道的洁净。下面我就来谈谈超纯水系统中CPVC(氯化聚氯乙烯)和PVDF(聚偏二氟乙烯)管道特殊的施工工艺。

无需外加能源，利用被调介质自身能量为动力源，引入压力阀的指挥器以控制压力阀的阀芯位置，改变流经阀门的介质流量，使阀门后端压力（B型）或前端压力（K型）保持恒定。ZZYP-16BII主要用在阀前压力较高(0.2-0.8Mpa)而阀后力很低(0.5-100Kpa),例如50mmH20(水柱)的场合，ZZYP-16KII只用在泄氮装置上,并且与供氮装置配套使用。单独使用时请用ZZVP阀代替。

1.气体减压

如阀前0.2-0.8MPa(高于0.8Mpa时阀前面应加减压阀)，阀后0.5-100Kpa。

2.氮封装装置

供氮和泄氮装置上

□超纯水系统氮封阀三件套应用案例特点:

1.压力设定在指挥器上实现，因而方便、快捷、省力、省时且可在运行状态下连续设定。

2.控制精确度比ZZY型自力式高1倍左右,故适合在控制精确度高的场合使用。

3.对同一台阀而言，调节范围比ZZY型自力式广。

4.反应特别灵敏,极小的压力(如50mm水柱的压力)或极小的压力变化都可以感染出来。

5.减压比特别大，例如阀前0.8Mpa,阀后50mmH2O,压差比达1600 !

超纯水系统氮封阀三件套应用案例

超纯水系统氮封阀三件套应用案例零件材料

零件名称材料：阀体：ZG230-Ni9Ti 、ZG1Cr18Ni9Ti 、ZG1Cr18Ni12Mo2Ti
阀芯：1Cr18Ni9Ti、Cr18Ni12Mo2Ti
膜片：丁腈橡胶夹增强涤纶织物

超纯水系统氮封阀三件套应用案例主要技术参数

超纯水系统氮封阀三件套应用案例规格及重量外形尺寸

超纯水系统氮封阀三件套应用案例的安装与维护：

1、阀门安装：

　　（1）安装前须检查产品型号、位号及规格是否吻合，检查整机零件是否缺损与松动。

　　（2）在安装前，对管道应进行清洗，阀门入口处要有足够的直管段，并配有过滤器。阀体与管道的法兰连接，要注意同轴度。

　　（3）阀门安装前，应先清洗管道。

　　（4）安装场地应考虑到人员设备的安全，既便于操作，又有利于拆装与维护。

　　（5）阀门应正立垂直安装在水平管道上，不得已时可倾斜安装，尽量避免水平安装，阀自重量较大或有振动的场合，要用支撑架。

　　（6）介质流动方向应与阀体上的箭头指向一致。气源应干燥、无油。阀门应在环境温度-20~55℃场所使用。

2、超纯水系统氮封阀三件套应用案例维护：

　　（1）清洗阀门：对清洗一般介质，只要用水洗净就可以。但对清洗有害健康的介质，首先要了解其性质，再选用相应的清洗办法。

　　（2）阀门的拆卸：将外露表面生锈的零件先除锈，但在除锈前，要保护好阀座、阀芯、阀杆与推杆等精密零件的加工表面。拆装阀座时应使用专用工具。

　　（3）阀座：密封面有较小的锈斑与磨损，可用机械加工的方法进行，如损坏严重必须换新。但不管修理或更换后的硬密封面，都必须进行研磨。

　　（4）阀杆：表面损坏，只能换新。

　　（5）推杆、导向与密封表面的损坏：对反作用执行机构必须换新，而对正作用执行机构，可用适当的修理后使用。

　　（6）压缩弹簧：如有裂纹等影响强度的缺陷，必须换新。

　　（7）易损零件：填料、密封垫片与O型圈，每次检修时，全部换新。阀芯、膜片必须检查是否有预示将来可能发生的裂纹、老化与腐蚀痕迹，根据检查结果，决定是否更换，但膜片使用期一般*多2-3年。

（8） 阀门组装要注意对中，螺栓要在对角线上拧紧，滑动部分要加润滑油。组装后应按产品出厂测试项目与方法调试，并在这期间，可准确地调整填料压紧力、阀芯关闭位置。